Siliziumnitrid
Beschreibung von Siliziumnitrid
Siliziumnitrid ist eine Hochtemperatur-Strukturkeramik mit außergewöhnlicher Festigkeit und Thermoschockbeständigkeit. Es kann auch als elektronisches Dünnschichtmaterial für Anwendungen wie optische Beschichtungen, Isolierschichten und Diffusionsbarrieren verwendet werden. Siliziumnitride (Si3N4) zeichnen sich durch eine hervorragende Kombination von Materialeigenschaften aus. Sie sind fast so leicht wie Siliziumkarbid (SiC), sind aber aufgrund ihrer Mikrostruktur hervorragend temperaturwechselbeständig und aufgrund ihrer hohen Bruchzähigkeit resistent gegen Stöße und Erschütterungen.

Die Spezifikation von Siliziumnitrid
| Einheit | SN1000 | SN2000 | SN3000 | SN4000 | |
| Wärmeleitfähigkeit bei 20 Grad | W/mK | 25 | 24 | 25 | 28 |
| Thermoschockparameter R1 | K | 558 | 748 | 590-620 | 700 |
| Thermoschockparameter R2 | W/m | 14 | 18 | 15 | 19 |
| CTE1 25 Grad ➞ 250 Grad | 10-6/K | 1.9 | 1.9 | 1.9 | 1.9 |
| CTE1 25 Grad ➞ 1000 Grad | 10-6/K | 3.2 | 3.2 | 3.2 | 3.2 |
| Maximale Temperatur (inert) 2 | Grad | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 |
| Maximale Temperatur (oxidierend) 2 | Grad | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
Eigenschaften von Siliziumnitrid (Si3N4)
Sehr geringe Dichte (3,21 g/cm).3)
Sehr hohe Bruchzähigkeit (7 MPam).1/2)
Gute Biegefestigkeit (850 MPa)
Sehr gute Thermoschockbeständigkeit: Hohe thermische Belastungsparameter (569 K)
Maximale Betriebstemperatur in oxidierender Atmosphäre: 1.300 Grad
Maximale Betriebstemperatur in neutraler Atmosphäre: 1.600 Grad
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Häufig gestellte Fragen
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