Die Synthese von Siliziumnitrid wurde erstmals 1857 von Henri Edouard Saint-Clair Deville und Friedrich Wöhler berichtet. In ihrer Synthese wurde ein Tiegel mit Silizium in einen mit Kohlenstoff gefüllten Tiegel gegeben und erhitzt, um die Sauerstoffdurchdringung zu verringern. Sie berichteten über ein Produkt, das sie Siliziumnitrid nannten, konnten jedoch seine chemische Zusammensetzung nicht bestimmen.
Im Jahr 1879 erhielt Paul Schützenberger das Produkt durch Erhitzen von Silizium, gemischt mit einem Auskleidungsmaterial (eine Paste, die als Crucible -Liner verwendet werden kann, das durch Mischen von Holzkohle, Kohlebriquetts oder Cola mit Ton mit Ton) in einem Hochstockmischung erhalten wurde, und berichtete, dass sie mit Si3N4 als Verbindung berichtete. 1910 produzierten Ludwig Weiss und Theodor Engelhardt Si3N4 durch Erhitzen von elementarem Silizium in reinem Stickstoff. Im Jahr 1925 synthetisierten Friedrich und Sittig Siliziumnitrid durch Erhitzen von Siliziumdioxid und Kohlenstoff in einer Stickstoffatmosphäre auf 1250-1300 Grad unter Verwendung der thermischen Reduktion von Kohlenstoff.
